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  • HMDS烤箱，HMDS真空烘箱
    HMDS烤箱，HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。
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    2025-09-17
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  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱
    HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再進(jìn)行HMDS處理，不需要從箱內(nèi)傳出，而接觸到空氣，晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低，所以有更好的處理效果。
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  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
    智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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  • 智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵
    智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(jì)（電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長(zhǎng)了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無(wú)油的真空條件。可選的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中， 可根據(jù)需要使用，不會(huì)額外增加泵的高度。
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  • 智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)
    智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)也稱為HMDS處理，是用于使晶片表面呈疏水性的處理。
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