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無塵室烤箱，半導體無塵烤箱工業(yè)烘箱

無塵室烤箱，半導體無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；HMDS無塵烤箱可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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2025-09-16

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無塵室干燥箱，試驗用百級烤箱工業(yè)烘箱

無塵室干燥箱，試驗用百級烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱

加工半導體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM

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晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱

晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強度、保溫、循環(huán)風道等均設計精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風，風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達±1.5％，當門開、關動作引起擾動時，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復操作狀態(tài)溫度值。

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潔凈充氮烘箱，無塵室充氮烤箱工業(yè)烘箱

潔凈充氮烘箱，無塵室充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設備。充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。

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