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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備

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晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱工業(yè)烘箱

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱晶圓退火需進行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進行降溫處理。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-09-17
訪問量：2358

聯(lián)系電話：021-31434441

產(chǎn)品詳情

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱：

晶圓退火需進行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進行降溫處理。

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱技術(shù)性能：

1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制

2 材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑

3 溫度范圍 RT+50-550℃

4 控溫精度 +1

5 溫度波動度 ≤±1℃

6 溫度均勻度 ≤1.5%

7 潔凈度class100/class1000/無要求

8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ

9 升溫速度 1-10℃/min可調(diào)

10降溫方式風冷降溫/水冷

11氧含量氧含量≤50ppm

12 數(shù)據(jù)輸出氧含量分析儀，溫度記錄儀

13操作方式彩色觸摸屏控制，可程式/定制運行

14 樣品架 2層不銹鋼沖孔托盤

500度退火氮氣烘箱安全保護：

三色報警燈

超溫保護，獨立感溫式超溫保護器

電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門

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